快速热退火（RTA）设备是一种半导体制造设备。快速热退火 (RTA) 设备能够将工件加热到更高的温度，根据材料和工件尺寸使用不同的保温时间，然后快速冷却。

 

 

 

依据报告中对快速热退火设备产业规模的分析部分，2022年全球快速热退火设备市场规模达到71.68亿元（人民币），中国快速热退火设备市场规模达33.65亿元，约占全球快速热退火设备市场总份额的 %。报告预测至2028年，全球快速热退火设备市场规模将会达到94.32亿元，预测期间内将达到4.68%的年均复合增长率。

快速热退火设备行业调研报告重点研究全球北美、欧洲、亚太、拉丁美洲，中东和非洲地区。 地区是全球最大的消费市场，2022年的市场规模达 亿元，预计到2028年将以 %的年度增幅增长至 亿元。

报告对快速热退火设备行业的发展状况、竞争格局、梯队建设、行业发展整合等方面进行了详细解读，其中研究的重点业内企业为Applied Materials, Mattson Technology, Kokusai Electric, Veeco, Screen Holdings, Tokyo Electron, Centrotherm, AnnealSys, JTEKT Thermo Systems, CVD Equipment Corporation, Others，业内TOP3企业2021年和2022年的市场总份额分别为 %和 %。

此外，报告还基于产业链发展，涵盖了上下游细分市场的市场规模情况、市场份额分析、以及产品价格走势。报告中涵盖的快速热退火设备行业细分种类为基于灯, 基于激光, 基于加热器。当前 市场以 亿元人民币的规模领先种类市场，占 %的市场份额。在预测期间内，报告预测 市场将会以 %的增长率增长，并在2028年达 亿元的市场规模。

报告涵盖的应用领域为研发, 工业生产。基于客观数据、多渠道信息以及科学分析，报告对快速热退火设备行业细分市场的未来发展趋势做出了预判，并预测 将会成为快速热退火设备行业需求最大的终端领域，在预测期间内将以 %的增幅在2028年达到 亿元的市场规模。

 

 

半导体市场规模持续扩大

半导体设备在芯片制造中扮演着重要的角色。半导体设备是半导体制造的基石，是半导体产业的基础和核心。从整个半导体行业来看，随着汽车、电子产品等领域的蓬勃发展，芯片、传感器、光电器件等市场需求持续增长。因此，随着半导体市场规模的不断扩大，对半导体设备的市场需求也在不断扩大。 Rapid Thermal Annealing (RTA) 设备是半导体设备中的一种，在半导体前段加工中起着重要的作用。总体而言，随着半导体市场的不断扩大，对快速热退火（RTA）设备的需求将不断增加。这将是行业发展的重要推动力。

技术升级迭代的风险

Rapid Thermal Annealing (RTA) Equipment 行业公司属于半导体设备制造行业，属于技术密集型行业。快速热退火（RTA）设备的研发涉及微电子、电气、机械、材料、化工、流体力学、自动化、通信、软件系统等多学科，技术研发门槛高.随着人工智能、物联网、大数据等应用领域的快速发展，半导体产品的性能需要不断更新迭代。因此，市场对半导体设备的要求也在不断提高。

减少“模式效应”

在快速热退火 (RTA) 设备系统中，热源直接面向晶圆表面，而不是像间歇炉那样加热晶圆边缘。因此，快速热退火 (RTA) 设备系统可处理大直径晶圆，而不会影响工艺均匀性和升温（降温）率。然而，晶圆表面的器件分布模式会对温度产生一定的影响和限制。因此，Rapid Thermal Annealing (RTA) Equipment系统采用辐射热源对晶圆进行加热，温度受光学特性影响。随着器件尺寸的不断缩小，对工艺均匀性的要求越来越严格，如何优化加热结构，降低“图案效应”成为重要的研究领域。目前针对“图案效应”的解决方案包括降低晶圆表面入射能量的双面加热方式，以及采用接近晶圆温度的热源照射图案化面的方式。随着行业的不断发展，强化快速热退火（RTA）设备的温度控制能力，降低“图案效应”是行业发展的趋势。

 

报告出版商: 湖南贝哲斯信息咨询有限公司

 

竞争格局概述：

应用材料公司是快速热退火 (RTA) 设备市场的主要参与者之一，到 2023 年占有 65.24% 的份额。

Applied Materials 是材料工程解决方案的领导者，用于生产世界上几乎所有的新芯片和高级显示器。应用材料公司在原子级和工业规模的材料改性方面的专业知识使客户能够将可能性变为现实。

Mattson Technology, Inc. 设计、制造、销售和支持用于集成电路制造的全球半导体晶圆加工设备。该公司是全球半导体行业等离子和快速热处理设备的主要供应商。公司的加工设施利用创新技术为当前和下一代集成电路的制造提供先进的加工能力和高生产率。 Mattson Technology 在 Atomic Surface Engineering TM 方面的新创新解决了最关键的 3D 逻辑和存储器制造挑战。

 

区域市场概述：

2022年，亚太地区快速热退火（RTA）设备市场份额为82.08%。

 

细分类型：

按类型划分，基于激光的细分市场在 2022 年占据了最大的市场份额。

基于灯

根据不同的热源来区分。灯基是指利用灯管作为热源，对材料表面进行照射。

基于激光

激光基是指利用高能量密度的激光束作为加热源，照射退火材料的表面。

基于加热器

加热器式是指用加热器作为加热源，对被退火材料的表面进行辐照。感应加热器包括一个电磁体，高频交流电通过该电磁体。

 

应用领域：

按应用划分，市场最大的细分市场是工业生产细分市场，到 2022 年市场份额为 97.66%。

研发

根据不同的下游客户进行差异化。指研究机构采购产品进行半导体制造工艺研究。

工业生产

指采购产品用于产品生产的半导体制造厂。

 

快速热退火设备市场主要企业包括：

 AnnealSys 

 Tokyo Electron 

 Centrotherm 

 Others 

 Veeco 

 Kokusai Electric 

 Applied Materials 

 Mattson Technology 

 Screen Holdings 

 CVD Equipment Corporation 

 JTEKT Thermo Systems 

 

快速热退火设备类别划分：

基于灯 

基于激光 

基于加热器 

 

快速热退火设备应用领域划分：

研发 

工业生产 

 

该研究报告提供了2017-2022年期间全球与中国快速热退火设备行业内企业竞争数据，包含各企业介绍、市场地位、产品特点、以及主要企业快速热退火设备市场收入、价格、毛利及毛利率等关键数据，同时也分析了市场前景与可能面临的风险。该报告是行业制造商及个人把握快速热退火设备市场发展规模、制定正确战略的有力工具。

 

快速热退火设备市场研究报告聚焦行业发展历程、细分类目趋势、及全球与中国市场分布情况等维度，描述了近几年快速热退火设备市场规模变化情况、不同时期市场因素对行业发展的影响。该报告是业内企业掌握该行业运行态势、未来发展趋势、国外和国内市场比例、重点发展领域及市场发展优劣势等信息不可或缺的辅助工具。

 

不同地区快速热退火设备市场份额分布、市场机遇及发展优劣势大不相同。从全球来看，本报告对北美、欧洲、亚太、拉丁美洲、中东、非洲等细分区域逐一分析，报告同时也着重分析了国内市场，探讨全球各区域以及国内快速热退火设备市场现状、行业规模、市场份额占比、及未来发展趋势。

区域细分：北美（美国、加拿大、墨西哥）

欧洲（德国、英国、法国、意大利、北欧、西班牙、比利时、波兰、俄罗斯、土耳其）

亚太（中国、日本、澳大利亚和新西兰、印度、东盟、韩国)

拉丁美洲，中东和非洲（海湾合作委员会国家、巴西、尼日利亚、南非、阿根廷）

 

快速热退火设备市场分析报告各章节内容如下：

第一章：快速热退火设备行业简介、市场规模和增长率（按主要类型、应用、地区划分）、全球与中国快速热退火设备市场发展趋势；

第二章：快速热退火设备市场动态、竞争格局、PEST、供应链分析；

第三章：全球与中国快速热退火设备主要厂商2021和2022年销售量、销售额及市场份额、TOP3企业SWOT分析；

第四章：2017-2028年全球与中国快速热退火设备主要类型分析（发展趋势、销售量、销售额、市场份额及价格走势）；

第五章：2017-2028年全球与中国快速热退火设备最终用户分析（下游客户端、市场销量、值及市场份额）；

第六章：2017-2022年全球主要地区（中国、北美、欧洲、亚太、拉美、中东及非洲市场）快速热退火设备产量、进口、销量、出口分析；

第七至第十章：分别对北美、欧洲、亚太、拉丁美洲，中东和非洲地区快速热退火设备主要类型、应用格局、主要国家市场销量与增长率分析；

第十一章：列举了全球与中国快速热退火设备主要生厂商，涵盖企业基本信息、产品规格特点、及2017-2022年快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率分析；

第十二章：快速热退火设备行业前景与风险。

 

目录

第一章 行业概述及全球与中国市场发展现状

1.1 快速热退火设备行业简介

1.1.1 快速热退火设备行业界定及分类

1.1.2 快速热退火设备行业特征

1.1.3 全球与中国市场快速热退火设备销售量及增长率（2017年-2028年）

1.1.4 全球与中国市场快速热退火设备产值及增长率（2017年-2028年）

1.2 全球快速热退火设备主要类型市场规模及增长率（2017年-2028年）

1.2.1 基于灯

1.2.2 基于激光

1.2.3 基于加热器

1.3 全球快速热退火设备主要终端应用领域市场规模及增长率（2017年-2028年）

1.3.1 研发

1.3.2 工业生产

1.4 按地区划分的细分市场

1.4.1 2017年-2028年北美快速热退火设备消费市场规模和增长率

1.4.2 2017年-2028年欧洲快速热退火设备消费市场规模和增长率

1.4.3 2017年-2028年亚太地区快速热退火设备消费市场规模和增长率

1.4.4 2017年-2028年拉丁美洲，中东和非洲快速热退火设备消费市场规模和增长率

1.5 全球快速热退火设备销售量、价格、销售额、毛利、毛利率及预测（2017年-2028年）

1.5.1 全球快速热退火设备销售量、价格、销售额、毛利、毛利率及发展趋势（2017年-2028年）

1.6 中国快速热退火设备销售量、价格、销售额及预测（2017年-2028年）

1.6.1 中国快速热退火设备销售量、价格、销售额及预测（2017年-2028年）

第二章 全球快速热退火设备市场趋势和竞争格局

2.1 市场趋势和动态

2.1.1 市场挑战与约束

2.1.2 市场机会与潜力

2.1.3 全球企业并购信息

2.2 竞争格局分析

2.2.1 产业集中度分析

2.2.2 快速热退火设备行业波特五力模型分析

2.2.3 快速热退火设备行业PEST分析

2.3 快速热退火设备行业供应链分析

2.3.1 主要原料及供应情况

2.3.2 快速热退火设备行业下游情况分析

2.3.3 上下游行业对快速热退火设备行业的影响

第三章 全球与中国主要厂商快速热退火设备销售量、销售额及竞争分析

3.1 全球与中国快速热退火设备市场主要厂商2021和2022年销售量、销售额及市场份额

3.1.1 全球与中国快速热退火设备市场主要厂商2021和2022年销售量列表

3.1.2 全球与中国快速热退火设备市场主要厂商2021和2022年销售额列表

3.1.3 全球与中国快速热退火设备市场主要厂商2021和2022年市场份额

3.2 快速热退火设备全球与中国TOP3企业SWOT分析

第四章 全球与中国快速热退火设备主要类型销售量、销售额、市场份额及价格（2017年-2028年）

4.1 主要类型产品发展趋势

4.2 全球市场快速热退火设备主要类型销售量、销售额、市场份额及价格

4.2.1 全球市场快速热退火设备主要类型销售量及市场份额（2017年-2028年）

4.2.2 全球市场快速热退火设备主要类型销售额及市场份额（2017年-2028年）

4.2.3 全球市场快速热退火设备主要类型价格走势（2017年-2028年）

4.3 中国市场快速热退火设备主要类型销售量、销售额及市场份额

4.3.1 中国市场快速热退火设备主要类型销售量及市场份额（2017年-2028年）

4.3.2 中国市场快速热退火设备主要类型销售额及市场份额（2017年-2028年）

4.3.3 中国市场快速热退火设备主要类型价格走势（2017年-2028年）

第五章 全球与中国快速热退火设备主要终端应用领域市场细分

5.1 终端应用领域的下游客户端分析

5.2 全球快速热退火设备市场主要终端应用领域销售量、值及市场份额

5.2.1 全球市场快速热退火设备主要终端应用领域销售量及市场份额（2017年-2028年）

5.2.2 全球快速热退火设备市场主要终端应用领域值、市场份额（2017年-2028年）

5.3 中国市场主要终端应用领域快速热退火设备销售量、值及市场份额

5.3.1 中国快速热退火设备市场主要终端应用领域销售量及市场份额（2017年-2028年）

5.3.2 中国快速热退火设备市场主要终端应用领域值、市场份额（2017年-2028年）

第六章 全球主要地区快速热退火设备产量，进口，销量和出口分析（2017-2022年）

6.1 中国快速热退火设备市场2017-2022年产量、进口、销量、出口

6.2 北美快速热退火设备市场2017-2022年产量、进口、销量、出口

6.3 欧洲快速热退火设备市场2017-2022年产量、进口、销量、出口

6.4 亚太快速热退火设备市场2017-2022年产量、进口、销量、出口

6.5 拉美，中东，非洲快速热退火设备市场2017-2022年产量、进口、销量、出口

第七章 北美快速热退火设备市场分析

7.1 北美快速热退火设备主要类型市场分析 （2017年-2028年）

7.2 北美快速热退火设备主要终端应用领域格局分析 （2017年-2028年）

7.3 北美主要国家快速热退火设备市场分析和预测 （2017年-2028年）

7.3.1 美国快速热退火设备市场销售量,销售额和增长率 (2017年-2028年)

7.3.2  加拿大快速热退火设备市场销售量,销售额和增长率 (2017年-2028年)

7.3.3 墨西哥快速热退火设备市场销售量,销售额和增长率 (2017年-2028年)

第八章 欧洲快速热退火设备市场分析

8.1 欧洲快速热退火设备主要类型市场分析 （2017年-2028年）

8.2 欧洲快速热退火设备主要终端应用领域格局分析  (2017年-2028年)

8.3 欧洲主要国家快速热退火设备市场分析  (2017年-2028年)

8.3.1 德国快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.2 英国快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.3 法国快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.4 意大利快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.5 北欧快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.6 西班牙快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.7 比利时快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.8 波兰快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.9 俄罗斯快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

8.3.10 土耳其快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

第九章 亚太快速热退火设备市场分析

9.1 亚太快速热退火设备主要类型市场分析  (2017年-2028年)

9.2  亚太快速热退火设备主要终端应用领域格局分析  (2017年-2028年)

9.3  亚太主要国家快速热退火设备市场分析  (2017年-2028年)

9.3.1 中国快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

9.3.2 日本快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

9.3.3 澳大利亚和新西兰快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

9.3.4 印度快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

9.3.5 东盟快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

9.3.6 韩国快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

第十章 拉丁美洲，中东和非洲快速热退火设备市场分析

10.1 拉丁美洲，中东和非洲快速热退火设备主要类型市场分析  (2017年-2028年)

10.2 拉丁美洲，中东和非洲快速热退火设备主要终端应用领域格局分析  (2017年-2028年)

10.3 拉丁美洲，中东和非洲主要国家快速热退火设备市场分析  (2017年-2028年)

10.3.1 海湾合作委员会国家快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

10.3.2 巴西快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

10.3.3 尼日利亚快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

10.3.4 南非快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

10.3.5  阿根廷快速热退火设备市场销售量、销售额和增长率 (2017年-2028年)

第十一章 全球与中国快速热退火设备主要生产商分析

11.1 Applied Materials

11.1.1 Applied Materials基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.1.2 Applied Materials快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.1.3 Applied Materials快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.2 Mattson Technology

11.2.1 Mattson Technology基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.2.2 Mattson Technology快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.2.3 Mattson Technology快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.3 Kokusai Electric

11.3.1 Kokusai Electric基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.3.2 Kokusai Electric快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.3.3 Kokusai Electric快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.4 Veeco

11.4.1 Veeco基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.4.2 Veeco快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.4.3 Veeco快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.5 Screen Holdings

11.5.1 Screen Holdings基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.5.2 Screen Holdings快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.5.3 Screen Holdings快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.6 Tokyo Electron

11.6.1 Tokyo Electron基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.6.2 Tokyo Electron快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.6.3 Tokyo Electron快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.7 Centrotherm

11.7.1 Centrotherm基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.7.2 Centrotherm快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.7.3 Centrotherm快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.8 AnnealSys

11.8.1 AnnealSys基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.8.2 AnnealSys快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.8.3 AnnealSys快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.9 JTEKT Thermo Systems

11.9.1 JTEKT Thermo Systems基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.9.2 JTEKT Thermo Systems快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.9.3 JTEKT Thermo Systems快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.10 CVD Equipment Corporation

11.10.1 CVD Equipment Corporation基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.10.2 CVD Equipment Corporation快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.10.3 CVD Equipment Corporation快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

11.11 Others

11.11.1 Others基本信息介绍、生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.11.2 Others快速热退火设备产品规格、参数、特点

11.11.3 Others快速热退火设备销售量、销售收入、价格、毛利及毛利率（2017-2022年）

第十二章 快速热退火设备行业投资前景与风险分析

12.1 快速热退火设备行业投资前景分析

12.1.1 细分市场投资机会

12.1.2 区域市场投资机会

12.1.3 细分行业投资机会

12.2 快速热退火设备行业投资风险分析

12.2.1 市场竞争风险

12.2.2 技术风险分析

12.2.3 政策影响和企业体制风险

 

报告编码：2039606